Verios 5 XHR SEM扫描电镜

Verios 5 XHR SEM扫描电镜采用好的材料对比度在全 1 keV-30 keV 能量范围内提供亚纳米级分辨率。自动化和易用性使任何经验水平的用户都能使用该性能。

体验 Verios XHR SEM扫描电镜所提供的优势：

• 使用行业的电子源单色器UC+实现高分辨率纳米材料成像，可在 1-30 kV 范围内实现亚纳米性能。
• 对电子束敏感材料性能好，具有 20 eV 着陆能量和高灵敏度电子镜筒内和透镜下检测器以及信号过滤，可实现在低剂量条件下获取很好的分辨率和高信噪比图像。
• 凭借采用 SmartAlign 和 FLASH 技术的 Elstar 电子束镜筒，可大大缩短各种经验水平的用户获得纳米级信息的时间。
• 借助 ConstantPower 透镜、静电扫描和两种高精度压电陶瓷载物台的选择，获得一致的测量结果。
• 配备大腔室，配件的灵活性高。
• 使用 Thermo Scientific AutoScript 4 软件（可选配的基于 Python 的应用程序编程界面）实现仪器无人自动化 SEM 操作。

Verios 5 XHR SEM扫描电镜的主要特点

SmartAlign 技术

使用 SmartAlign 技术时，用户无需对电子束镜筒进行任何对中，这不仅能大限度地减少维护，还能提高电镜生产率。

亚纳米级分辨率

Elstar Schottky 电子源单色器（UC+）FESEM 技术和性能，实现从 1 至 30 keV 的亚纳米级分辨率。

低剂量操作和较佳对比度选择

结合了高灵敏度、镜筒内 & 透镜下探测器和信号过滤功能 可实现低剂量操作和较佳衬度选择。

无人照看的 SEM 运行

借助 AutoScript 4 软件，可选配基于 Python 的应用程序编程界面 (API)。

创新的电子光学系统

包括 Thermo Scientific 获得 UC+（单色器）电子枪、ConstantPower 透镜和静电扫描，可实现准确稳定的成像。

一致的测量结果

Verios 扫描电镜非常适合实验室计量应用，能够在高放大倍数下校准经 NIST 认证的标准品。

轻松访问射束着陆能量

低至 20 eV 也可实现用于表面表征的高分辨率。

大腔室

可从两种高准确稳定的压电陶瓷驱动样品台中进行选择。