电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP - OES）的原理主要涉及样品的蒸发、原子化、激发和光谱检测等过程，具体如下：

样品引入：样品通常以溶液的形式通过雾化器被转化为细小的气溶胶颗粒，然后被载气带入到电感耦合等离子体（ICP）光源中。

等离子体产生：ICP 光源是通过高频发生器产生的高频电磁场，使工作气体（通常为氩气）电离并形成等离子体。在高频电磁场的作用下，氩气中的自由电子被加速，与氩原子碰撞，使氩原子电离，产生大量的离子和电子，形成高温、高能量的等离子体炬。

蒸发、原子化与激发：

蒸发：当样品气溶胶进入等离子体炬后，首先被高温加热，溶剂迅速蒸发，样品中的固体颗粒被干燥。

原子化：干燥后的样品颗粒进一步被加热，发生热解离，使化合物中的原子转化为气态原子。

激发：气态原子继续吸收等离子体的能量，其外层电子从基态跃迁到激发态。处于激发态的电子是不稳定的，会迅速跃迁回基态或较低能级，同时以光的形式释放出多余的能量，产生特定波长的光谱线。

光谱检测：不同元素的原子具有不同的电子结构，因此其激发态与基态之间的能量差也不同，产生的光谱线波长也各不相同。通过使用分光系统将复合光分解为不同波长的单色光，并利用检测器检测这些单色光的强度，就可以得到样品中各种元素的发射光谱。根据光谱线的波长可以确定样品中存在的元素种类，而光谱线的强度则与样品中该元素的含量成正比。通过与已知浓度的标准样品的光谱进行比较，就可以定量分析样品中各种元素的含量。

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