三坐标测量机的平衡机构
1.平衡机构的作用：垂直轴测量机的Z轴或水平臂测量机的水平臂及滑架组件，由于重力作用会下掉，必 须有 机构加以平衡，使它处于随遇平衡状态。
2.平衡机构的种类：
1）重锤平衡
2）气动平衡
3）用电机与高减速比的减速器来平衡。

气动平衡
1.气动平衡的优点：重量轻，没有大的晃动，对测量机精度影响小；
2.气动平衡的缺点：必 须细致地设计气动平衡及保护机构，平衡机构必 须灵敏，在各种状态下迅速保持平衡，由于高加速度,启动和仃止时气缸中气压瞬时过压和欠压都会引起振动,因此必 须用高灵敏度的精 密调压阀。

平衡机构的保护机构必 须保证在任何情况下，主轴不会下坠，特别是突然通气和断气的时候要防止Ｚ轴或水平臂的坠 落，这一般由压力开关、电磁阀等气动元件来完成。
气路系统必 须满足下述逻辑:
1.开气 → 平衡气缸通气,Z向空气轴承仍抱紧Z轴 → 空气压力超过平衡压力并有一定安 全值,Z向空气轴承放开Z轴,气缸在平衡压力值保持平衡;
2.关气或意外断气 →压力下降到安 全值,Z向空气轴承抱紧Z轴,气缸在平衡压力值仍保持平衡 → 压力下降到平衡压力以下甚至到零, Z向空气轴承抱紧Z轴。
要防止气缸杆与Ｚ轴导轨不平行对Ｚ轴运动的干涉。

重锤平衡
1.重锤平衡的优点：构造简单，其原理类似滑轮，一端为主轴，一端为平衡重量，构造可靠，除非连接钢丝绳断裂，一般不会出安 全问题；
2.重锤平衡的缺点：加大了移动部分重量，当配重上升下降到不同位置时，会影响到测量机性能，特别是配重与导轨的间隙，影响运动的平稳性，因而影响精度。

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