蔡司三坐标ZEISS XENOS
蔡司三坐标ZEISS XENOS长度测量误差E00.3 + L/1,000 μm。
测量范围XYZ9/15/79001,500700机械设计XENOS采用了机械设计理念。
可选用的软件:CALYPSO GEAR PRO
可选用的探测头:VAST gold
机械设计
XENOS采用了机械设计理念。与标准桥式测量机不同:Y导轨分布于侧壁顶部,分离式移动行程轴仅横梁于Y轴方向
移动,更小及恒定的移动重量——与移动式平台相比堪称实在的优势。更低及恒定的移动重量造就了加速及高速的统一。
所有轴均采用线性驱动
XENOS的所有轴均采用线性驱动。其优点:高速、加速超快、定位精度高、驱动无剪切力影响。结合高分辨率光栅尺
技术,XENOS的线性驱动可获得高度稳定性及低于100纳 米的高定位精度。例如,测针偏移量越恒定,即可获得测量
精度。于测量曲面时更显见:测针的移动路径与预定值越吻合,即可实现的准确性。